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CT球管阳极靶盘循环加热除气装置研制
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《真空科学与技术学报》2020年 第11期40卷 1085-1089页
作者：边悦 邱添 蕫银杏北京北方华创真空技术有限公司北京100015 
针对CT球管阳极靶盘生产企业现有靶盘加热除气设备效率低下的问题,北方华创真空技术有限公司设计了CT球管阳极靶盘循环加热除气装置。该装置配有四个相同的石英钟罩工位,各工位共享一套分子泵高真空系统,并且改进了装载工具的结构以增...
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