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应用二维微硅片狭缝阵列光谱仪
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《光学精密工程》2009年 第11期17卷 2724-2729页
作者:范玉 吴一辉 宣明 张平 周连群 庄须叶中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 中国科学院研究生院北京100039 
为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类选择进行分析。利用MEMs加工技术制作出微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。...
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