摘要：石英水平摆倾斜仪在前兆地震观测中得到了广泛的应用,但是仍然存在现场安装前灵敏度未知的问题。为解决该问题,引入静电力反馈技术,理论推导了仪器的传递函数和灵敏度等参数,提出了在平行金属板结构中同时实现微位移测量和静电力反馈的方法,并进行了具体设计和调试。实验结果显示,样机的灵敏度测试结果与反馈模型理论计算结果一致,表明引入静电力反馈后,能够实现石英水平摆倾斜仪灵敏度参数的常数化。

摘要：本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案.介绍了该方案的基本工作原理,建立了相应的闭环系统数学模型,并在s域设计了系统校正环节.文章还提出了数字校正环节的设计方法,并分析了其对系统动态特性的影响.该方案可以实现硅微加速度计的数字闭环控制,并可以实现加速度计的PWM数字信号输出.

摘要：本文在借鉴国外资料的基础上，结合现有的加工条件，对微硅加速度计结构及线路设计作了初步的理论和实践探讨。