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硅微梳状静电谐振器机械性能试验研究
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《传感技术学报》2008年 第3期21卷 428-430页
作者：赵江铭 陈晓阳 刘武发 杨杰伟 王小静郑州大学机械工程学院郑州450001 上海大学机电工程与自动化学院上海200072 
设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比。结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实验结果进行了验证。结果表明所得公式形式简明,计算结果与实测...
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