摘要：为了实现alN陶瓷与Cu的低温连接、高温服役的目标,满足高温功率器件的服役需求,设计了一种连接方法,在350℃的大气环境下采用超声辅助熔焊的方式在alN陶瓷表面熔覆了Sn-al-Cu活性钎料层,之后将熔覆活性钎料的alN陶瓷与Cu在保温温度300℃下进行过渡液相(transient liquid phase,TLP)扩散连接;利用扫描电子显微镜、能谱仪以及透射电子显微镜对显微组织及相结构进行分析;采用万能材料试验机对试样进行力学性能测试.结果表明,熔覆时间180 s时的活性钎料与alN陶瓷实现了良好的结合,在alN陶瓷/活性钎料界面处观察到一层由超声作用下吸附在alN陶瓷表面的al被氧化,并在较大的过冷度下形成厚度约为20 nm的非晶al;O;层;保温时间60 min时焊缝中的Sn全部转变为Cu;Sn与Cu6Sn5;保温时间为240 min时形成焊缝全部由Cu;Sn构成的接头.alN陶瓷/Cu接头抗剪强度随保温时间的延长而下降,全部由Cu;Sn构成的接头的抗剪强度约为31 MPa,断裂发生在Cu;Sn/alN陶瓷界面处,形成了全金属间化合物的alN陶瓷/Cu接头.