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电容式加速度计系统的非线性分析及线性化控制
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《中国惯性技术学报》2012年 第6期20卷 734-738页
作者：范达 刘云峰 董景新清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 
电容式静电力反馈加速度计只有在敏感质量工作于对称点位置附近微小范围内时,系统可以近似成为线性系统。但由于敏感表头的加工误差以及振动使得加速度计的质量块会偏移量过大,从而非线性将表现明显。针对加速度计系统非线性的两个主要...
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