摘要：应用体硅微机械加工技术,制作了一种双端固定音叉式谐振器。它在音叉的两个臂上连接了梳齿电容结构,用来驱动音叉臂在硅片平面内侧向、反相振动,同时检测音叉的振动频率。当驱动力的频率等于音叉的固有频率时,音叉产生谐振。此时,检测梳齿电容输出的电流最大。用有限元方法对谐振器进行了模态分析和结构优化。音叉臂长800μm,宽5μm,梳齿电容齿长25μm,结构层厚度为80μm,在30V交流电压激励下,测得其谐振频率为25kHz。当音叉受到轴向力的作用时,音叉的固有频率会发生变化,根据这一原理,设计了谐振式加速度计。用有限元分析软件对加速度计工作情况仿真,估算其灵敏度约为2Hz/g。这种音叉式谐振器结构和工艺简单,性能可靠,成本较低,对于进一步研究微机电系统谐振器件具有重要意义。

摘要：文章针对振动电容式表面电位测量传感器核心组件——振动音叉进行详细设计,分析得出适用于电位检测的音叉振动形式,确定出音叉结构参数及驱动方式;进行基于传递函数的传感器灵敏度及精度影响因素分析;提出基于电荷感应与静电场仿真的电位测量装置设计方法,得到的传感器灵敏度与理论计算结果一致,并最终通过样机标定实验验证了传感器设计的正确性。

摘要：音叉可用于测量液体介质密度、黏度,以及进行液位控制,具有精度高、可在线测量的优点,在生产中具有广阔的应用前景。文中介绍了谐振式音叉传感器的工作原理,提出了一种音叉的设计结构,利用正压电效应和逆压电效应实现了音叉的振动激励与检测。采用有限元方法分析了音叉固有频率与叉体长度等尺寸的关系,提出音叉谐振频率测量方法,最后通过试验完成结构验证。

摘要：在油井动态监测过程中,人们根据井下流体密度,辅以持水率和流量信息,可以计算出油井中不同层位的油、气、水分相产量,为地层资源评价、井下施工作业提供及时准确的依据。因此,井下流体密度的在线测量具有重要的意义。根据音叉传感器的谐振频率与音叉叉体上所粘附的液体的密度之间具有单调的函数关系,提出了一种谐振式音叉密度测井方法与检测电路设计。该方法不仅测量范围广(0.80~1.20 g/cm^3),而且测量精度高(±0.03 g/cm^3),可以满足油田实际生产测井过程中对井下混合流体密度测量的要求。

摘要：为了解油井在生产开发阶段产出流体的性质,对油井生产状况和油层生产性质进行评价,需要进行油井各层密度资料的录取,为此设计了一种音叉密度测井仪,本文叙述了该仪器传感器的工作原理,及电路设计方案,并通过理论和实验证明了被测流体密度与仪器响应的线性关系。

摘要：通过对音叉振动系统的研究,分析了受迫振动系统振动振幅与驱动力频率的关系及音叉共振频率与双臂质量的关系,并用共振原理设计了振动式液体密度传感器.

摘要：针对现有液体密度检测方法的不足,提出了一种音叉式液体密度测量方法。根据音叉的振动频率随音叉叉臂间的液体密度改变而改变的原理,利用压电陶瓷的压电效应,用电压信号驱动激励压电陶瓷来使音叉振动,同时拾振压电陶瓷拾取振动信号并转化成方波信号。通过测量该方波信号的频率就能测出液体密度,并据此设计了一套音叉式密度测量仪。该音叉式密度检测方法较适合于液体密度的检测,检测精度高、且直接在检测点上将液体密度转化成了频率,便于数字化,且精度高,操作简单,大大提高了检测效率,可以满足高精度液体密度测量要求。

摘要：介绍驻波的形成原理以及特点,设计出利用驻波原理来测量音叉频率的实验,并对该实验进行了分析。

摘要：由于在某些特殊环境场合要求通过细小的孔径对内部的液体密度进行检测,为此设计了一种音叉振动式液体密度传感器。在简要叙述其工作原理的基础上,介绍了该传感器谐振电路的设计。指出温度特性是影响传感器性能的关键因素,为此该系统摒弃传统的硬件补偿方法,引入了软件温度补偿法。实验结果表明:该传感器精度高,调试方便,具有较高的工程应用价值。

摘要：Liquiphant Failsafe是由Endress＋Hauser公司（E＋H）最新开发的安全音又物位开关。浓缩E＋H45年物位领域安全应用经验。该产品依据IEC61508标准设计，仅凭单一产品即可满足SIL3过程安全要求。