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UHVCVD SiGe外延设备真空腔及自动传输系统设计
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《电子工业专用设备》2013年 第4期42卷 9-11,33页
作者:王慧勇 魏唯 宁宗娥中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 
介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应高洁净环境、提高外延生产效率。
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天才设计师
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《小哥白尼(军事科学)》2014年 第1期 7-7页
OPF-X超级潜水艇属于观光型潜艇,艇艏安装两个照明灯,艇身四周为透明装甲,艇员可在舱内全方位观测海底。潜艇的中间是高级餐厅和卧,拥有舒适的配置。艇艉有一个预备室及出口,潜水员可以像蛙人一样在此更换潜水服并潜出。此外,艇身外...
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