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四氯化硅的安全生产
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《化工设计通讯》2020年 第11期46卷 140-141页
作者：赵雄 袁振军 郭树虎 赵宇 常欣 王磊 刘见华 张兴毅中国恩菲工程技术有限公司北京100038 洛阳中硅高科技有限公司多晶硅材料制备技术国家工程实验室河南洛阳471023 
随着光伏与集成电路产业的高速发展,多晶硅的需求量日益增加。四氯化硅是采用西门子法生产多晶硅过程中的大量副产物,其工业用途广泛。在四氯化硅生产、储存、运输过程中,安全事故屡见不鲜,危及自然环境与人身安全。简单介绍了四氯化硅...
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