摘要：微机电系统(MEMS)谐振式加速度计因具有动态范围大、灵敏度高、稳定性高等优点成为研究热点。针对以振荡电路为接口电路的谐振式加速度计进行系统建模和仿真分析的基础上,设计并测试了一种硅MEMS谐振式加速度计样机。仿真和实验结果表明:当闭环振荡接口电路和测频电路带宽远大于传感器自身带宽时,比例因子的频率响应特性由传感器敏感质量块二阶系统频率特性决定。硅MEMS谐振式加速度计样机的静态性能测试结果为量程±12.5 gn,比例因子662. 1 Hz/gn,带宽400 Hz,零偏不稳定性34. 09μgn,噪声22. 18μgn/Hz1/2。

摘要：针对发电机励磁控制系统动态频率响应特性的现场检测需求,以及现有测试方法不直接、不真实,测试结果不能得到有效的,稳定判据的问题,提出了直接面向励磁控制系统,无须模型仿真,具有自动加入超低频扰动信号,逐次扫频记录,在线分析和信号处理的新型动态测试系统。本文阐述了在系统结构设计,分析计算,系统的软硬件设计和主要功能配置,该系统能有效解决开环频响特性的快速检测的工程应用难题,为励磁控制系统应用经典控制理论调试检测补偿的创新方法。