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数字解调自激励频率调制原子力显微镜
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《光电子.激光》2011年 第10期22卷 1455-1458页
作者:华宝成 钱建强 杨勇 姚骏恩北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100191 微纳测控与低维物理教育部重点实验室北京100191 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院北京100191 
研制了以石英音叉探针作为力传感器的频率调制原子力显微镜(FM-AFM)。利用石英音叉具有压电特性且品质因数高的特点,采用正反馈回路控制石英音叉自激振动于实时共振频率处,通过反馈回路中设置自动增益控制环节控制石英音叉振幅恒定;以...
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