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开尔文探针力显微镜非线性电学反馈系统设计: 收藏
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引用; 《自动化与仪表》2022年第10期37卷 72-76页; 作者：李新宇胡晓东徐临燕张锐天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072; 近年来,伴随着二维材料在半导体器件等方面的应用,人们使用开尔文探针力显微镜(KPFM)对二维材料进行了深入研究。尽管KPFM使用越来越广泛,但在KPFM测量二维材料功函数的准确性方面关注较少。该文提出使用一种非线性pi控制器提高KPFM的...; 近年来,伴随着二维材料在半导体器件等方面的应用,人们使用开尔文探针力显微镜(KPFM)对二维材料进行了深入研究。尽管KPFM使用越来越广泛,但在KPFM测量二维材料功函数的准确性方面关注较少。该文提出使用一种非线性pi控制器提高KPFM的测量准确性。使用高定向热解石墨(HOPG)作为标准样进行非线性pi控制器系统性能评价,得到系统测量列的单次测量实验标准差为0.38 mV,平均值的实验标准差为0.12 mV,非线性误差为0.26%。衬底为金膜的二维材料MoSe2作为该文的实验测量对象,对比商用KPFM测量系统,基于非线性pi控制器调控的KPFM电学反馈误差电压绝对值的平均值减少了75.5%,误差电压绝对值的最大值减少了80.0%,表现出更高的测量准确性。; 来源：详细信息评论

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