摘要：基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和固有频率相互制约的弱点。为此,文中优化设计了一种压阻式新型加速度敏感结构,该结构在弹性梁加质量块的基本结构上引入了敏感微梁,在保证高灵敏度的同时,显著提高了固有频率。其灵敏度与固有频率的乘积可比普通MEMS加速度计提高25倍以上。

摘要：为满足极端应用情况对高过载加速度传感器的需求,设计了一种带有微梁的加速度敏感结构。通过对主梁和微梁应力分布及敏感结构固有频率的仿真分析,给出了该敏感结构的设计方法,以此确定了传感器的结构参数。基于单晶硅材料断裂强度的尺寸效应,分析了敏感结构的过载特性。仿真结果表明,微梁的引入极大改善了加速度传感器的过载能力,所设计量程为1 g的加速度敏感芯片,其满量程输出约为40 mV,过载可达79倍量程。