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三氯氢硅的安全生产
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《化工设计通讯》2020年 第12期46卷 150-151页
作者：赵雄 赵国伟 袁振军 郭树虎 赵宇 常欣 王磊 刘见华中国恩菲工程技术有限公司北京100038 洛阳中硅高科技有限公司多晶硅材料制备技术国家工程实验室河南洛阳471023 
三氯氢硅是生产多晶硅的主要原料,而高纯度的三氯氢硅是重要的硅外延片用电子特气,是制造电子元器件精密加工从而推动信息化和工业化深度融合的关键基础原材料。但三氯氢硅在空气中极易燃烧,其生产、检测、充装、仓储以及运输过程中都...
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