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MEMSg复合量程开关设计
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《传感器与微系统》2016年 第1期35卷 82-84,87页
作者:李功 焦新泉 袁强中北大学仪器与电子学院山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 
提出一种复合量程的MEMS开关,该新型MEMS高g值开关可检测达40 000 g_n的不同离散水平的冲击,同时,在接触式阻尼模型上对不同加速度进行分析测试。试验中,通过Hopkinson杆标定,MEMS开关最大可实现对37 000 g_n的加速度信号进行标...
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