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电子工业用9n气体纯化技术的研究与应用
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《化工设计通讯》2018年 第6期44卷 78-78页
作者：徐长江洛阳单晶硅集团有限责任公司河南洛阳471000 
气体纯化作为电子工业气体制造过程中的关键技术内容,完善纯化技术研究具有十分重要的作用,更是促进我国工业制造业发展的重要技术之一。结合电子行业中对工业气体的实际需要,探究气体纯化技术存在的困难,分析氮气、氢气运用纯化技术制...
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