摘要：采用直流射频耦合磁控溅射技术,以氧化锌掺铝(azo,2%Al_2O_3,质量分数)陶瓷靶为靶材,在玻璃基片上低温沉积azo薄膜,并采用质量分数为0.5%的HCl溶液刻蚀制备绒面azo薄膜,通过XRD、SEM、分光光度计、霍尔效应测试系统、光电雾度仪等设备重点研究工作压强对直流射频耦合磁控溅射制备azo薄膜的晶相结构、表面形貌、光电性能以及后期制绒的影响。研究表明,直流射频耦合磁控溅射可以在低温下制备性能优异的azo薄膜,且随着工作压强的减小,致密性增强,光电性能改善,后期刻蚀得到具有良好陷光作用的绒面结构。在工作压强0.5 Pa下,低温制备的azo薄膜电阻率达到3.55×10^(-4)Ω·cm,薄膜可见光透过达到88.36%,刻蚀后电阻率为4.19×10^(-4)Ω·cm,可见光透过率89.59%,雾度达24.7%。

摘要：掺铝氧化锌(azo)薄膜具有较高的透过率,较小的电阻率等优良的光电性能,使其在太阳能电池电极及各种显示器中具有广阔的应用前景。本文概述了azo薄膜的结构、光电性能的表征方法,重点介绍了单层azo膜以及azo基多层复合薄膜的设计理论基础、影响薄膜性能的因素以及研究现状,除此之外,还对azo薄膜的应用情况进行了概述,并对azo薄膜发展前景进行了展望。

摘要：采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备azo薄膜的工艺参数进行了优化研究,确定了最佳工艺参数,为制备azo薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。

摘要：采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备azo薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备azo薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。

摘要：采用直流射频耦合磁控溅射法结合线棒刮涂法在玻璃衬底上室温生长微纳结构铝掺杂氧化锌(azo)薄膜,底层azo薄膜射频功率占比从50%调整到90%。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效应测试系统、紫外可见分光光度计、光电雾度仪重点研究了azo薄膜的表面形貌、晶体结构、电学性能和光学性能。研究结果表明,提高底层azo薄膜射频功率占比对微纳结构azo薄膜光电性能有显著的影响,底层azo薄膜射频功率占比80%时薄膜表现最低电阻率5.32×10^(-4)Ω·cm,可见光波段平均光学雾度36.3%。随着底层azo薄膜射频功率占比的增加,薄膜表面形貌、生长形态和结晶性能发生较大变化,并得到具有陷光作用且光电性能优良的微纳结构azo薄膜。

摘要：本文采用直流射频耦合磁控溅射技术,在玻璃基底上室温沉积azo薄膜,将射频电源功率从0W增加到到200W。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外分光光度计、霍尔效应测试系统重点研究了azo薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性能和电学性能。研究结果表明,直流射频耦合磁控溅射可以在室温下制备性能优异的azo薄膜,且射频溅射功率对azo薄膜光电性能有显著的影响,随着射频功率的提高,azo薄膜致密性增加,粒子逐渐变大,薄膜表面形貌和生长形态发生一定变化。在射频功率为200W时,室温制备的azo薄膜电阻率达到最低5.39×10^(-4)Ω·cm,薄膜平均可见光透过率达到82.6%。

摘要：采用未经使用和经长时间使用后的新旧掺铝氧化锌(azo)圆形平面陶瓷靶,直流磁控溅射制备azo薄膜,基片分别正对靶材水平放置和立在屏蔽罩旁竖直放置,并通过X射线衍射仪、霍尔效应测试系统、光学椭偏仪等设备分析其结构和光电性能,系统地研究靶材刻蚀对磁控溅射制备azo薄膜性能空间分布的影响。研究表明,氧负离子是造成靶材刻蚀导致薄膜性能空间差异的主要原因,对于水平放置径向分布的azo薄膜,采用新靶制备时,靶材刻蚀位置处,氧负离子对薄膜损伤作用最大,(002)晶面间距增大,电学性能最差,而在正对靶中心及其他位置处电学性能较佳,随着靶材刻蚀的加深,氧负离子对正对靶中心位置处的薄膜损伤作用最大,结晶性能和电学性能最差;而对于竖直放置纵向分布的azo薄膜,由于受氧负离子作用弱,采用新旧靶制备的薄膜性能分布规律相似,薄膜电学和结晶性能较水平放置均有所提升,某些位置处电阻率可达(7~8)×10^(-4)Ω·cm,但可见光透过率有所下降。

摘要：铝掺杂氧化锌(azo)薄膜在红外波段具有高反射率的特性。设计了SiO_(2)/azo/Al_(2)O_(3)/Glass/SiO_(2)光谱选择性反射膜。通过软件仿真和实验研究,探究了SiO_(2)、azo、Al_(2)O_(3)薄膜的光学常数以及物理厚度对SiO_(2)/azo/Al_(2)O_(3)/Glass/SiO_(2)薄膜光谱特性的影响,确定了光谱选择性反射薄膜的制备工艺参数。根据工艺制得了对可见光平均透射率接近90%、红外(2.5~20μm)平均反射率大于85%的光谱选择性反射膜,薄膜的辐射率为0.08~0.12。以表面镀有光谱选择性反射膜的玻璃作为线性菲涅尔式聚光系统中的二次聚光器窗口,设计了新型二次聚光器。光谱选择性反射玻璃有效阻挡了集热管的热辐射,使聚光器辐射热损失降低约66%。