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MEMS版图绘制方法的研究
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《集成电路通讯》2013年 第3期31卷 34-37页
作者:庄须叶 吕东锋 陈博 王文婧 王鹏北方通用电子集团有限公司微电子部蚌埠233042 
结合复杂结构MEMS版图绘制中的曲面构型,对L—Edit、Covenr、AumCAD多软件联合MEMS版图绘制方法进行了研究。通过设计图形多格式转换的整合重构,完成了角构型曲面结构版图的设计,满足了直接进行工艺仿真的要求,提高了MEMS器件的设...
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