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检索条件"主题词=DMAIC改进模型"
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基于dmaic改进模型的电气柜散热能力优化分析
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《集成电路应用》2024年 第2期41卷 63-65页
作者：范佳伟 吴萍森上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201210 
阐述半导体设备电气柜的散热能力决定设备电气性能,提出基于dmaic改进模型的散热方案优化过程。仿真和实测结果表明,通过规范设计流程,量化试验指标,优化后的电气柜散热能力提升显著,从而提升机台的产能。
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