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一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片
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《中国机械工程》2005年 第Z1期16卷 88-90页
作者：罗蓉 徐爱东 王玮 吕苗中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 清华大学北京100084 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 
介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片.与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点.设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性.
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