摘要：随着对薄膜体声波谐振器(fbar)器件性能要求的增高,fbar器件参数的精确测试变得十分关键,该文从测试夹具结构以及对测试夹具的去嵌入校准这两个fbar参数测试精度要素考虑,综述fbar板上测试技术的研究现状,讨论测试夹具结构设计过程中的寄生效应、阻抗匹配以及夹结构设计等问题,并分析去嵌入校准的原理、误差模型以及各校准方法的优缺点。通过降低寄生效应、优化阻抗匹配、改善校准方法、优化误差模型可提高fbar板上测试的准确性,并以此给出一套板上测试夹具设计及测试流程。

摘要：提出了一种基于薄膜体声波谐振器(fbar)的差分Colpitts振荡器。相比于传统Colpitts振荡器,该差分Colpitts振荡器移除了尾电流源,减少了近偏频相位噪声。交叉耦合差分对与耦合变压器的结合提高了有效负跨导,减小了振荡电路对启动电流的要求,增加了低电源电压下的输出摆幅,降低了相位噪声。该振荡器工作于C类状态,有效提高了电流利用率,保证电流相等条件下达到更好的相位噪声性能。选用具有高Q值的1.865 GHz-fbar作为振荡器的谐振腔,CMOS电路基于SMIC 55 nm RFCMOS工艺完成。仿真结果表明,在0.6 V电源电压下,输出载波频率为1.876 GHz, 1 kHz偏频、1 MHz偏频时相位噪声分别达-84 dBc/Hz、-146 dBc/Hz,功耗仅为83μW,整体FOM值为-225 dB。

摘要：设计了一种侧向场激励剪切波模式的薄膜体声波(fbar)压力传感器,利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件构建了传感器的三维模型并添加了压电效应多物理场耦合,得到了fbar压力传感器的位移分布以及谐振频率与响应电压的关系。进一步,模拟了fbar压力传感器在生理盐水和血液两种液体环境下谐振频率的变化情况。在对fbar压力传感器施加不同压力条件下,谐振频率逐渐发生改变。通过计算得到该fbar压力传感器在生理盐水和血液中的压力敏感度分别为480、337. 5 Hz/kPa。验证了fbar压力传感器在液体环境中的可用性,为应用于液体环境中的压力检测提供了可靠的理论基础。

摘要：介绍了AIN薄膜体声波(fbar)传感器以及信号处理电路的原理,着重设计了传感器的频率检测电路。频率检测电路采用VHDL语言对各个电路子模块编写相应的代码,并利用Quartus9.0完成了仿真。仿真结果表明,相对精度为10-6,达到了预期的设想,满足了fbar传感器的要求。

摘要：薄膜体声波谐振器(fbar)以其工作频率高、体积小、便于集成和低插损等优良特性而得到广泛应用,对薄膜体声波器件理论设计与优化的研究成为研究热点。本文引入传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器,利用该方法推导薄膜体声波谐振器的输入阻抗公式,并利用该公式研究了A l/A lN/A l结构的fbar的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数。结果证明,该阻抗公式可有效的用来设计或评价fbar的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数等重要参数。

摘要：高次模薄膜体声波谐振器(HBAR)具有简单的半导体工艺特性和良好的高频特性能,在分析HBAR结构和工作模式的基础上,用MBVD模型在ADS上仿真设计了2GHz谐振频率间隔20MHz的HBAR,实验采用掩模合射频溅射制备了这种HBAR,实测谐振频率间隔22MHz,与理论接近,显示了较好的频率特性,实验同时制备了的高C轴取向的AlN薄膜.

摘要：近期，东南大学射频与光电集成电路研究所（射光所）王志功教授团队的王科平副研究员在集成电路与微机电系统（MEMS）协同设计方面取得重要进展。成果以“基于温度补偿薄膜体声波谐振器的1．8毫瓦无锁相环2．4GHz接收机芯片（ Designof a 1.8 - mW PLL - free 2.4 - GHz receiver utilizing temperature-compensated fbar resonator ）”为题发表于集成电路领域顶级期刊 IEEE Journal of Solid-State Circuits （JSSC,2018,DOI： 10.1109/JSSC.2018. 2801829 ） 。

摘要：AFEM-S257模块集合多种高性能技术来缩小PCB板尺寸，同时简化设计和制造过程。利用Avago专有的0．25μmGaAs增强模式PHEMTT艺和前沿的fbar过滤技术，