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检索条件"主题词=Flory-Huggins"
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面向亚5nm图案化含硅嵌段共聚物的合成与自组装
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《高分子学报》2022年 第12期53卷 1445-1458页
作者：陶永鑫 陈蕾蕾 刘一寰 胡欣 朱宁 郭凯南京工业大学生物与制药工程学院材料化学工程国家重点实验室南京211800 南京工业大学材料科学与工程学院南京211800 
嵌段共聚物的合成及其应用是高分子科学领域的研究热点.近年来,国内外学者设计了一系列新型含硅嵌段共聚物,具有较高的flory-huggins相互作用参数,在自组装制备亚5 nm特征图案方面取得了重大突破,有望应用于下一代半导体制造.本文总结...
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