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微流控芯片流体动压抛光工艺研究
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《中国机械工程》2024年 第3期35卷 534-540页
作者:付振峰 王振忠 王彪厦门大学航空航天学院厦门361005 
基于流体动压润滑理论设计了微结构抛光球,理论分析得出微结构在抛光球转动过程中会产生更大的流体动压力;利用fluent分析了微结构类型、微结构尺寸对抛光产生的动压力的影响,通过MATLAB拟合fluent的数据得到其产生的抛光力。得到微结...
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