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共沉淀粉末与混合粉烧结ito靶材的微观组织结构研究（英文）: 收藏
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引用; 《稀有金属材料与工程》2015年第12期44卷 2937-2942页; 作者：马晓波张维佳王东新孙本双钟景明北京航空航天大学北京100191 西北稀有金属材料研究院国家钽铌工程技术研究中心宁夏石嘴山753000; 磁控溅射ito靶材制备ito透明导电薄膜作为平板显示、太阳能电池、气敏元件等电子器件的电极材料,需要ito靶材具有高纯度、高均匀性、高密度、高导电性的特点。对比研究了ito共沉淀粉与In_2O_3、SnO_2单体混合粉同炉烧结ito靶材的微观组...; 磁控溅射ito靶材制备ito透明导电薄膜作为平板显示、太阳能电池、气敏元件等电子器件的电极材料,需要ito靶材具有高纯度、高均匀性、高密度、高导电性的特点。对比研究了ito共沉淀粉与In_2O_3、SnO_2单体混合粉同炉烧结ito靶材的微观组织结构差异,如:晶粒尺寸分布、晶粒形貌、元素分布、烧结速率等。结果表明:单体混合粉的烧结速率要比共沉淀粉的烧结速率高,但是前者烧结ito靶材的微观组织结构不及后者烧结的均匀性好。对比而言,共沉淀粉更容易获得结构组织均匀的ito靶材,但前提是要合理的设计烧结工艺抑制烧结过程中In_2O_3的分解。研究结果将会对提高ito靶材微观组织均匀性和减少靶材毒化,进而提高靶材生产效率提供有益的参考。; 来源：详细信息评论

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