摘要：该文针对客船在恶劣气候条件下,由于不均布载荷及随机突风的作用导致发生不规则瞬时倾覆的问题,类比汽车安全气囊系统,设计出基于mems惯性传感器的内河客船应急气囊系统,该应急处理系统增添了船舶姿态预判断与气囊瞬时释放模块,并由高性能三维姿态传感器、倾角传感器、STM32单片机、气囊装置以及烟火式气体发生器构成。基于mems惯性传感器的高精度姿态判断使控制系统在0.5~2 s响应,精确控制主甲板侧气囊实现瞬时释放。船用气囊采用蜂窝式设计,并附加网状结构,提高气囊的抗拉强度。半物理仿真试验证明,该应急处理系统可达到实时监测船舶的航行姿态以及延缓船舶倾覆的目的。

摘要：为了解决噪声和漂移等原因造成的误差不断累积的问题,针对陀螺仪的静态性能以及加速度计的动态性能,提出了一种利用六轴mems器件对照相机三脚架的稳定测量系统,介绍了mems器件的工作原理,介绍硬件系统和软件系统,完成了基于ADXR450陀螺仪和ADXL355加速度计的检测硬件系统设计,通过传感器获取角速度加速度信息,采用不同的滤波方式对输出结果进行了分析,比较卡尔曼滤波和一阶RC数字滤波;经比较,卡尔曼滤波实时性更好,一阶RC滤波动态响应更好;实验证明,系统静态下更适用于一阶滤波,计算出姿态测量角度误差在0.104°以内,得到理想的姿态信息,能有效地提高检测目标姿态的精度。

摘要：文章讨论了基于mems惯性器件的误差补偿技术,使用ZUPT(零速校正)方案实现对测量误差的补偿。文中对方案的实现细节进行了讨论,并设计了验证实验。实验结果表明ZUPT算法对于徒步导航系统的误差补偿有较好的效果。

摘要：本文研究了Au-Sn共晶键合工艺参数对mems(微机电系统)器件性能的影响。通过设计并优化Au-Sn共晶键合多层材料结构和密封环图形,分析了组分配比、键合前处理、键合温度等关键参数对mems器件气密性、剪切强度及漏率等性能指标的影响。实验结果表明,在峰值温度为300℃、持续时间为2分钟的条件下,实现了良好的键合效果,剪切力平均值达到16.663kg,漏率小于2×10-3 Pa·cm3/s,满足GJB548A检验标准。本研究验证了Au-Sn共晶键合技术在mems气密封装中的适用性,并为其工艺参数的进一步优化提供了理论依据。

摘要：开发一种生物运动微惯性测量装置,以基于ARM7的LPC2129为核心处理单元,采用mems陀螺和mems加速度计为测量传感器。该装置实现了对SPCIII机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量,为活体鱼尾鳍拍动参数测量实验打下了基础。

摘要：选取某一类mems器件,针对这种mems器件的封装要求初步提出两种封装结构,即基于QFN和SOP的封装结构。运用有限元分析软件ANSYSWorkbench,模拟功率载荷下两种形式封装结构的热应力。分析结果表明:在相同功率载荷下,采用QFN封装结构和SOP封装的最高温度为84.418℃和109.35℃、最大等效应力为85.279MPa和67.511MPa。最大剪切应力为31.846MPa和25.285MPa。两种封装结构采用相同的塑封材料在功率载荷下产生的等效应力和剪切应力都远小于芯片的断裂强度和锡焊的屈服强度,因此,基于QFN和SOP两种封装结构都适合于此类mems器件的封装。

摘要：mems(微机电系统)技术是新兴的高新技术,有极强的应用渗透力,已在智能电子、汽车、工业、航空航天等领域广泛应用,并成为战略性新兴产业物联网的核心技术。在国家863计划等持续支持下,东南大学、江苏英特神斯科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司以产学研合作方式,深入、细致、系统地研发了mems设计与制造共性关键技术,使我国mems产业迈入规模化生产阶段。

摘要：河北美泰电子科技有限公司依托中国电子科技集团公司第十三研究所，是国内最早做Mebs产品的企业之一。不久前，该企业刚刚投入使用一座全新厂房，是目前国内体量最大、功能最全的、而且是唯一做Mebs惯性方向的厂房，其最大优势在于六英寸Mebs生产线。从Mebs结构设计，到Mebs加工制造，再到电路设计，整个封装，以及标定测试，都可以在这个厂房里实现闭环。每个月有三到五千片晶圆的产能。这条生产线是按照军品的高端标准设计的，因此完全可以满足和覆盖民品的标准。

摘要：北京遥测技术研究所mems工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1 700 m2,是集设计、制造于一体的mems传感器产业基地及mems技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴mems器件等先进产品研试线。

摘要：微波mems(RF-mems)滤波器是一种基于硅微加工技术的新型器件.由于RF-mems器件具有体积小、承受功率大、性能优良、成本低以及易于与后续的电路集成等突出优点,因此,由薄膜体声波谐振器(FBAR)构成的RF-mems滤波器在微波通讯系统的射频前端将取代传统的声表面波(SAW)滤波器.从以mems技术制作的薄膜体声波谐振器(FBAR)为基本单元构成梯子式(Ladder type)射频滤波器的原理出发,对滤波器的性能和设计进行分析,并对实际滤波器中的问题进行了较详细的探讨.