摘要：微机电系统(mems)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是mems器件动态特性的高速可视化.介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统,用来测量可动mems器件的离面运动,实现了纳米级分辨力.该系统采用改进的相移干涉算法,使用一个大功率激光二极管(LD)作为频闪照明的光源,可以实现1MHz范围内大幅值(十几微米)的微运动测量.这种高离面灵敏度的测量方法特别适合进行微机械(光学)元件的动态特性测量.通过研究一个多晶硅微谐振器的动态特性说明了系统的强大功能.

摘要：海洋钻井平台的倾角幅度直接关系到工程结构工作的安全。文章利用mems器件实现了平台X,Y轴倾角信号的拾取,利用STC12C5A单片机和GPRS模块SIM900A实现了倾角信号的无线传输。当平台倾角超过一定幅度,系统会自动以手机短信的方式通知监管人员。该系统的测量精度为0.1°,实时性较好。

摘要：全球微机电系统（mems）产业蚀刻和沉积设备供应商Point 35 Microstructures公司，在上海宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块，进一步扩展其微机电系统（mems）单晶圆制造memsstar产品系列。这项新增的技术将确保mems器件设计师得到更多的生产选择，同时带来了宽泛的制造工艺窗口和各种工艺控制等好处，从而使良率得到了最大的提升。

摘要：2007年度ADI大学生创新设计大赛颁奖典礼近日在北京工业大学（BJUT）举办，来自93所大学的450支团队参与了本次大赛，邀请了来自于中国7个赛区的学生，充分利用ADI的数据转换器、放大器、DSP和mems器件，以及该公司其他领先业界的模拟和混合信号元器件进行设计并完成最终项目。大赛鼓励学生面向各种应用领域设计其项目，包括医疗设备、汽车系统、消费类电子、多媒体装置和通信基础设备。最终获胜并赢得5,000美元奖金的团队及其获奖项目分别是“清华大学的2007034参赛队”和“具有动作感知游戏功能的PMP。”

摘要：mems制造由于其工艺的多样性一直以来都是采用IDM模式自主设计、制造为主流，随着mems成功进入消费电子产品中，吸引着大量Fabless公司介入其中。所以，用了近20年时间成功逼迫IDM公司纷纷在CMOS工艺线采用Fab-lite策略后，Foundry又向Analog领域发起冲击，而mems就是Foundry其中一个着力点。也许只有Foundry的介入，mems器件成本才有被迅速拉下的可能。

摘要：ADI公司近日在北京工业大学（BJUT）举办的颁奖典礼上宣布了“2007年度ADI大学生创新设计大赛”（UDC2007）的获奖者，同时对竞赛中表现最出色的学生及其教授进行表彰。UDC2007由北京工业大学协办，邀请了来自于中国7个赛区的学生，充分利用ADI的数据转换器、放大器、DSP和mems器件，以及该公司其他领先业界的模拟和混合信号元器件进行设计并完成最终项目。大赛鼓励学生面向各种应用领域设计其项目，包括医疗设备、汽车系统、消费类电子、多媒体装置和通信基础设备。

摘要：北京遥测技术研究所mems工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的mems传感器产业基地及mems技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴mems器件等先进产品研试线。

摘要：许多mems器件，像加速度计、机械共振器件等，都需要在真空环境下才能实现设计功能。然而检验封装腔体是否达到了所要求的真空程度一直一来都是个棘手的问题。密歇根大学Khalil Najafi教授研究小组的研究人员最近开发出一种用微机械制造方法实现，可以在封装的封帽上完成皮拉尼真空测量的方案。使用这种方法可以完成封装的氦气检漏测试，该成果已发表在IEEE Transactions on Advanced Packaging杂志。

摘要：mems器件供货商STMicroelectronics研发出一种价格低廉、低功耗的新型器件，拓展了超小型“低g”线性加速计系列。该mems器件规格小、功耗低，可精确显示3维加速度值，满足了便携式电子器件小型化和高灵敏度的要求。模拟输出LIS302ALK可显示3维加速值。传感器安装在5mm×3mm×0．9mm的塑料盒中，以适应多种空间受限设备的需求，其超小型、高稳定性设计使器件在0．1ms内、10000G震动下性能保持良好。

摘要：北京遥测技术研究所mems工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m^(2),是集设计、制造于一体的mems传感器产业基地及mems技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴mems器件等先进产品研试线。