摘要：为满足微机电系统(micro-electro-mechanical system,mems)二维激光扫描系统对显微物镜小入瞳直径、大入射角度、大视场的要求,利用光学设计软件Zemax设计了一款入瞳直径为1.1 mm,可匹配mems二维振镜±18°大扫描角度的近红外无限共轭微型显微物镜。该物镜总长小于23 mm,数值孔径为0.4,分辨率为1.26μm,工作距为900μm,各项像差校正良好,满足使用需求。设计结果表明,该微型显微物镜可满足便携式皮肤检测仪器的mems二维振镜激光扫描系统的应用要求。

摘要：mems激光雷达采用mems振镜作为扫描器件,具有结构固态化、质量轻、功耗低等显著优点,是车规级激光雷达的主流技术路线。mems振镜也存在机械扫描角较小的缺点,因而mems激光雷达难以实现较大的扫描视场角。针对传统光学扩角系统发散角大的不足,提出一种可以实现均匀扫描的光学扩角系统。采用光学设计的方法,建立多镜片搭配的光学扩角系统模型,并借助ZEMAX软件完成各镜片光学结构参数设计,并通过光线追踪对设计指标进行仿真评估。根据仿真结果,该系统可以将mems激光雷达的扫描角度扩大1.6倍,且在100 m处的激光光斑直径小于100 mm。mems激光雷达扫描角度较小和出射光束发散角较大的问题得到显著改善。