摘要：尽管多数情况工程技术人员可以使用标准mems(微电子机械系统)装置(例如压力和加速度传感器)开发自己的系统,但在有些情况下设计人员则需自己定制mems.本文将介绍工程技术人员如何针对特殊需求开发mems装置.

摘要：针对当前mems设计工具中机械性能评测不充分的问题 ,提出了基于部件库的mems设计方法 ;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的mems设计环境的总体结构及关键技术。完成了各关键技术的攻关 ,并建立了一个原形系统。

摘要：mems(微机电系统)技术是新兴的高新技术,有极强的应用渗透力,已在智能电子、汽车、工业、航空航天等领域广泛应用,并成为战略性新兴产业物联网的核心技术。在国家863计划等持续支持下,东南大学、江苏英特神斯科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司以产学研合作方式,深入、细致、系统地研发了mems设计与制造共性关键技术,使我国mems产业迈入规模化生产阶段。

摘要：提出基于受力分析与能量原理建立等效集总力学描述的思想,实现对机电耦合mems悬臂梁动态行为的系统级模拟.利用受控源的反馈作用实现耦合,所建立的等效电路可用于模拟静电驱动下悬臂梁的转移特性、瞬态响应与固有频率.与Saber模拟的数据进行对比,证实了该方法的有效性.

摘要：介绍一种mems系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合mems薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性。

摘要：日前,中国半导体行业协会mems分会在苏州举办"2021年中国mems制造大会"。该大会旨在加强mems设计、研发、加工制造、封装测试等全产业链联动关系,促进mems产业资源垂直整合,推动我国mems产业领域的人才集聚、技术创新、成果转化,加速促进我国mems产业发展。

摘要：设计了一种热致驱动mems可变电容器,其主要结构由固定于衬底的下极板和可上下活动的上极板组成;上极板由四个对称结构的热驱动器驱动,每个热驱动器主要包括两根冷臂和两根加热臂。通过输入电压,热驱动器发生形变,带动电容器的上极板向上运动,从而使电容值减小。有限元方法模拟结果表明:在4 V驱动电压下,加热臂长为150μm时,电容值变为原先的0.3倍;而加热臂长为300μm时,电容值只有原先的1/10。

摘要：文中设计并分析了一个mems热驱动可变电容，它的下极板固定于衬底，上极板通过热致动器驱动。热致动器由冷臂和热臂组成，一端通过锚点固定于衬底，一端连接在电容器上极板。热驱动器通过电压驱动使mems电容器上极板上下运动。文中作者使用有限元方法模拟了150~300μm加热臂长在0~4 V电压条件下的电容变化值和温度变化，有限元模拟结果表明其电容变化率最大可达10倍。