摘要：针对现有mems高量程加速度传感器芯片结构设计了一种不锈钢管壳封装结构,通过有限元软件分析研究了灌封对高量程加速度传感器封装性能的影响.仿真结果表明,管壳结构在200 000 g的冲击载荷下,其所受到的最大应力为260.538 MPa,小于不锈钢的抗拉强度785 MPa,可以承受高达200 000 g的冲击载荷.灌封可以提高封装模型的固有频率,同时可减小mems敏感结构受到的应力;灌封胶的弹性模量会对传感器封装结构模型的性能产生较大影响,其固有频率会随着灌封胶弹性模量的增大而增大;而在相同载荷作用下,封装模型受到的应力会随之减小.但是灌封胶弹性模量太小,封装结构模型的模态频率反而会小于未灌封时结构模型频率,使封装结构在冲击环境下易发生共振现象.

摘要：摘要：设计了一种无线无源电容压力传感器。传感器采用mems工艺由硅-玻璃浆料-硅键合而成，独特的三层结构设计用以实现高温环境下的测量。应用有限元分析软件对传感器结构进行了仿真分析，并详细介绍了其加工工艺；引进了一种新型的非接触无源测量技术，用于检测传感器压敏电容极板间距的变化。测试结果表明，传感器可以实现外界压力信号与谐振频率信号之间的转化，传感器在0～200kPa压力下，谐振频率随压力变化近似成线性关系且谐振频率随压力的增大逐渐减小，灵敏度约为10．6kHz／kPa。

摘要：介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型mems皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1]。本文设计了一种微型mems横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向mems皮拉尼计,制造工艺仅需3张光刻版。其试验结果显示该皮拉尼计在10Pa～300Pa范围内热阻系数与真空度呈很好的线性关系。

摘要：设计了一种基于腔结构的双模偶极子天线,其频率在2.44GHz和4.38GHz,利用mems开关实现双波段的操作。根据偶极子天线原理,设计了单模微带偶极子天线,使用开关结构将两个单模偶极子天线连接在一起,实现了双模天线的功能。利用三维电磁场软件HFSS分析了设计结构,包括开关、天线,在0～10GHz得出开关性能插入损耗在-1dB以下,天线回波损耗在-26dB以下。频率为2.44GHz时、回波损耗为-13.2dB、2dB的辐射效率为89%,频率为4.38GHz时,回波损耗为-21.9dB、3dB辐射效率为96%,带宽都在0.5GHz左右。

摘要：虚拟工艺是mems器件计算机辅助设计中对工艺过程仿真的部分 ,根据版图设计、层定义和工艺文件来生成器件模型 ,并进行三维模型显示 .本文在虚拟工艺库中引入了专家系统的技术 ,将已有的工艺知识分别描述成专家系统知识库中的规则 ,推理机部分与知识库分离 ,使系统有较好的可扩充性 .本文给出了一个剖面图的实例 ,证明其可行性 .

摘要：为了有效提高三轴微机械(Micro-Electro-Mechanic System,mems)陀螺仪的抗干扰能力和检测精度,基于自耦PID控制理论提出了一种简单的陀螺仪控制方法。该方法将三轴mems陀螺仪控制问题分解为三个严格反馈子系统的控制问题,然后将三个子系统已知或未知动态、其不确定性和外部有界扰动分别定义为三个总扰动,进而将三个子系统等价映射为三个二阶线性扰动系统,据此分别构建了在总扰动反相激励下的三个受控误差系统,并根据自耦PID控制理论分别设计了三个自耦PD控制器,最后分析了每个子系统的鲁棒稳定性和抗扰动鲁棒性。仿真实验证明了所提控制方法的有效性,其在mems陀螺仪控制系统领域具有良好的实际应用前景。

摘要：残余应力对mems器件的力学性能、可靠性和寿命都有较大的影响。基于mems电容式加速度计,采用热结构耦合场分析方法,对热应力的影响进行了仿真分析,并和实验结果进行比较。结果表明热应力不是影响器件性能的主要因素,而仿真模型中未考虑到的一些物理因素和工艺误差则可能是主要因素。针对课题组加速度计的制备过程从工艺的角度提出了相应的改进措施,为加速度计温度补偿模型的完善以及改版设计提供参考。

摘要：水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义。基于mems技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果。良好的线性曲线有利于后续的标定与应用。这款集成芯片避免了已有此类集成芯片的复杂工艺过程,通过批量制造技术可以使传感器成本降低,一致性提高。

摘要：介绍了一种 mems 差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对 mems Sensor 选择差动电容传感器的理论依据进行了分析,叙述了 mems 差动电容加速度传感器各项参数的设计依据,包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等,同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理,不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移,结构合理,达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。

摘要：本文研究了一种埋入式mems(微电子机械系统 )无线应变片性能的实验标定方法。通过引入一个当量应变片 ,遵照标准应变片的标定规定 ,本文设计了实用有效的实验标定步骤。分别对标准应变片和mems试样进行完全相同的拉伸实验 ,从而得到埋入mems应变片的应变片系数 (灵敏度 )为 13,同时获得在实验试样的制作条件下 ,测量应变与实际应变之比为 2。