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检索条件"主题词=N型晶硅电池"
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基于BBr3液态硼源的管式扩散设备研究与开发
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《电子工业专用设备》2020年 第4期49卷 9-12页
作者：黄志海 陈勇平 赵志然 闫海莲 姬常晓中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 
针对在以BBr3为液态掺杂源的n型晶硅电池扩散工艺过程中,扩散温度高,反应中间产物B2O3为液态,流动性较气态反应物差,副产物黏性较大,腐蚀石英件等特点,在硼扩散设备研制中通过炉门及尾气排放的设计,实现炉口炉尾的高温密封,缓解炉门粘连...
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