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检索条件"主题词=Ni-Cr薄膜"
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ni-cr薄膜换能元刻蚀工艺研究
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《火工品》2010年 第6期 20-22页
作者:解瑞珍 任小明 王可暄 薛艳 刘兰 卢斌中国兵器工业第213研究所火工品安全性可靠性技术国防科技重点实验室陕西西安710061 
为得到刻蚀效果好的ni-cr薄膜换能元,研究了刻蚀液的配比对刻蚀时间及金属桥膜换能元参数的影响。结果表明:在硫酸高铈的量一定的情况下,当V_(高氯酸):V_水为17:100时,刻蚀效果较为理想,制作的ni-cr薄膜换能元桥区尺寸与设计尺寸的偏差...
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ni-cr薄膜换能元点火性能研究
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《火工品》2011年 第2期 4-6页
作者:任小明 解瑞珍 薛艳 刘兰 张晶鑫 王可暄中国兵器工业第213研究所火工品安全性可靠性技术国防科技重点实验室陕西西安710061 
针对微火工品和微推进器集成化的发展需求,以及制作工艺与MEMS、半导体工艺相兼容并能实现低能发火的要求,对ni-cr薄膜换能元进行了研究,设计制作了几种不同桥区尺寸和薄膜厚度的ni-cr薄膜换能元,并对其电发火性能进行了测试。结果表明...
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桥区参数对ni-cr薄膜换能元发火性能的影响
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《火工品》2012年 第1期 18-20页
作者:解瑞珍 薛艳 任小明 刘兰 卢斌 姚小宁陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室陕西西安710061 
依据GJB/z 377A-94感度试验用兰利法,对设计制作的不同桥区参数的ni-cr薄膜换能元进行了发火感度测试。结果显示:当桥区尺寸、形状一定时,随着桥膜厚度的增加,换能元的发火电压减小,当桥膜的厚度增加到0.9μm,换能元发火电压又有增加的...
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ni-cr与Al/CuO含能薄膜复合的换能元制备与性能分析
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《微纳电子技术》2025年 第02期62卷 138-147页
作者:武韬 郝永平 刘双杰 王洪星 张家彬沈阳理工大学机械工程学院 沈阳理工大学装备工程学院 
随着换能元向着微型化和高可靠性的方向发展,通过磁控溅射法设计并加工一种简易的ni-cr薄膜换能元结构,制备矩形桥和倒V形桥两种不同桥形的薄膜,并将其与Al/CuO含能薄膜复合。结果表明,两种桥形结构均能在不同激励条件下可靠发火,...
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