摘要：为得到刻蚀效果好的ni-cr薄膜换能元,研究了刻蚀液的配比对刻蚀时间及金属桥膜换能元参数的影响。结果表明:在硫酸高铈的量一定的情况下,当V_(高氯酸):V_水为17:100时,刻蚀效果较为理想,制作的ni-cr薄膜换能元桥区尺寸与设计尺寸的偏差控制在了0.9%以内,并在10V、47μF条件下能够发火。

摘要：针对微火工品和微推进器集成化的发展需求,以及制作工艺与MEMS、半导体工艺相兼容并能实现低能发火的要求,对ni-cr薄膜换能元进行了研究,设计制作了几种不同桥区尺寸和薄膜厚度的ni-cr薄膜换能元,并对其电发火性能进行了测试。结果表明:在同一桥区尺寸的条件下,ni-cr薄膜发火感度随桥膜厚度的增加而升高;在相同的桥膜厚度下,ni-cr薄膜的发火感度随桥区尺寸的增大而降低。

摘要：依据GJB/z 377A-94感度试验用兰利法,对设计制作的不同桥区参数的ni-cr薄膜换能元进行了发火感度测试。结果显示:当桥区尺寸、形状一定时,随着桥膜厚度的增加,换能元的发火电压减小,当桥膜的厚度增加到0.9μm,换能元发火电压又有增加的趋势;当桥膜厚度、桥区形状一定时,随着桥区宽度减小,发火电压降低,但当桥区宽度小于0.10mm时,发火电压反而上升;当桥膜厚度、桥区宽度一定时,桥区长度越长,发火电压越高,而且不同桥区形状对换能元发火感度有明显的影响。

摘要：随着换能元向着微型化和高可靠性的方向发展，通过磁控溅射法设计并加工一种简易的ni-cr薄膜换能元结构，制备矩形桥和倒V形桥两种不同桥形的薄膜，并将其与Al/CuO含能薄膜复合。结果表明，两种桥形结构均能在不同激励条件下可靠发火，在8 V恒压激励下，矩形桥和倒V形桥的最高温度分别可达约360和550℃;在40 V、100μF的电容激励下，含Al/CuO的ni-cr薄膜换能元在电爆程度、火焰持续时间、输出能量和能量利用率等方面均优于裸桥的ni-cr薄膜换能元，且倒V形桥的点火性能尤为突出。在桥区中心涂覆三硝基间苯二酚铅后，均能点燃火药。含Al/CuO的ni-cr薄膜换能元在点燃火药时，电爆程度增大，持续时间较长。表明Al/CuO含能薄膜与ni-cr薄膜复合后可提升点火性能，且作用时间在微秒级。