摘要：对应用于半导体封装设备金丝球邦定机的高速高精度直线电机XY平台进行了控制器设计.设计目标是高速高精度响应,以及在外界干扰和参数不确定性因素影响下的鲁棒性.通过对PI控制器、PDF控制器和pdff控制器的性能比较,系统选择pdff控制器作为速度环的控制器,PID控制器作为位置环控制器的双环控制架构.根据降阶的系统模型利用基本CRS算法对控制器各个参数进行优化.仿真和实验结果证明,该控制方案具有良好的响应性能和鲁棒性,加速度可以达到5g,调整时间为4ms以内.

摘要：为了削弱负载扰动及复杂轮廓误差模型对轮廓精度的影响,在单轴中采用比例控制作为位置环控制器,采用pdff控制作为速度环控制器,以保证单轴跟踪精度.三轴间采用一种轮廓误差估算法来建立轮廓误差模型,运算更为简单.通过改进的交叉耦合控制结构进行轮廓控制器的设计,将轮廓误差的补偿量置于位置控制器前,能够实现跟踪误差与轮廓误差同时减小,以满足三轴运动平台的高精度加工要求.结果表明,改进后的三轴运动平台控制系统具有较高的轮廓精度和较强的抗扰性.

摘要：设计了应用于半导体封装设备金丝球邦定机的高速高精度直线电机X-Y平台控制器,以达到高速、高精度响应,以及在外界干扰和参数不确定性因素影响下的鲁棒性。通过对PI控制器、PDF控制器和pdff控制器的性能比较,选择pdff作为速度环控制器、PID作为位置环控制器的双环控制架构。根据降阶的系统模型、利用基本CRS算法对控制器参数进行优化。仿真和实验结果证明,该控制方案具有良好的响应性能和鲁棒性,加速度可以达到5 g,调整时间为4ms以内。