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检索条件"主题词=PFG闭环控制器"
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基于离子注入机的pfg控制系统设计
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《中国集成电路》2024年 第8期33卷 46-51页
作者：林萍 高瑞松 尚成国北京烁科中科信电子装备有限公司 
pfg(Plasma Flood Gun),即等离子淋浴发生器,pfg控制系统的控制方式主要是通过硬件电路来实现的,该硬件电路可以自动调节到满足工艺所要求的弧流与灯丝电流。先前的控制方式是依靠软件赋值来调节灯丝电流与弧压电流,这样的控制方式存在...
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