• 全部搜索
  • 期刊论文
  • 图书
  • 学位论文
  • 学位论文
  • 标准
  • 纸本馆藏
  • 外文资源发现
  • 产品样本
  • 电子图书
  • 原文传递

限定检索结果

检索条件"主题词=RIE"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
视图：
排序：
一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备
收藏
分享
引用
《传感技术学报》2011年 第6期24卷 839-842页
作者：李鹏 张宇光 王丽 刘正 严英占 仝晓刚 薛晨阳 闫树斌中北大学电子测试技术重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 
根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层...
来源：详细信息评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页<< <1> >>
聚类工具 回到顶部