摘要：针对高热流密度固体激光器的散热问题,借助微机电系统(MEMs)技术,利用微通道/热源协同设计方法,换热器采用连续s型微通道,并利用歧管形成分层分段流动,研制出了一套微型紧凑的嵌入式歧管s型微通道散热器,并开展了实验研究。使用HFE-7100作为冷却工质,在发热面局部最高温度小于100℃、平均温升小于45℃的情况下,两相时可带走625 W/cm2的热通量,相比传统的歧管矩形微通道散热器提高了12%,但流阻增大了约56%;利用数值模拟方法,通过改变s型的振幅和波长,根据发热面平均温度、换热面平均努塞尔数、压降和综合性能因子来评估s型微通道散热器的结构参数对其散热能力和流动阻力的影响,寻找s型微通道的最优结构设计参数组合。结果表明该散热器的综合性能因子在一个特定的s型形状下存在最佳值。