文献检索-宁波市创意产业特色资源库

限定检索结果

用于Si基RCE光电探测器sor衬底的研制: 收藏
分享
引用; 《光子学报》2000年第Z1期29卷 365-368页; 作者：李成杨沁清等中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室，北京100083; 随着波分复用技术的发展，共振腔增强（RCE）探测器由于具有波长选择特性和高和量子效率得到重视和发展。本文报道了采用智能剥离和溶胶－凝胶方法研制出一种可用于Si基RCE光电探测器sor衬底。得到表面是单晶Si膜且具有高反向率的Si基...; 随着波分复用技术的发展，共振腔增强（RCE）探测器由于具有波长选择特性和高和量子效率得到重视和发展。本文报道了采用智能剥离和溶胶－凝胶方法研制出一种可用于Si基RCE光电探测器sor衬底。得到表面是单晶Si膜且具有高反向率的Si基片。设计和模拟了基于该衬底的SiGeRCE光电探测器，结果表明该结构可以大幅度提高Si基探测器的量子效率。; 来源：详细信息评论

限定检索结果