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si微陀螺结构与接口电路的混合仿真
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纳电子技术》2009年 第8期46卷 477-483页
作者:兰靖 苑伟政 常洪龙 周志广 崔金强西北工业大学微/纳米系统重点实验室西安710072 
为了快速有效地验证接口电路的可行性,对si微陀螺建模方法及陀螺结构与接口电路的混合仿真方法进行了研究。在si微陀螺动力学特性分析的基础上,利用硬件描述语言建立一种以低阶分方程描述的si微陀螺解析模型,该模型利用si微陀螺运动...
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