摘要：为了分析CMOS sno2气体传感器的工作,有必要建立合适的模型,采用晶粒边界的肖特基势垒模型和固体表面对气体的Freund lich等温吸附很好地解释了sno2的电导与检测气体体积分数工作温度之间的关系,利用ANSYS 7.0对实际设计的传感器进行了热仿真,这便于在CMOS后加工工艺中很好地对其控制。

摘要：为了准确测量室内苯气体含量，设计了一款基于恒流电桥的sno2气敏传感器苯气体动态智能测试系统．并以C8051F020微处理器为核心，设计了恒流电桥测试电路，实现气敏元件阻值与输出电压呈线性关系．动态加热电路采用微处理器实时监测电源电压，自动调整输出PWM信号占空比，精确控制传感器加热温度，提高气敏传感器检测准确度．结果表明：传感器阻值随气体浓度增加呈乘幂函数衰减规律变化，检测苯气体质量浓度范围为87．86～1757．20mg·m^-3.本系统具有低功耗、高精度、智能化、低成本等特点．

摘要：设计了一种基于恒流桥的sno2气敏传感器检测模型,该模型利用恒流源实现气敏元件阻值与输出电压呈线性关系,以提高气敏传感器检测准确度.实验结果表明传感器阻值随甲醇、乙醇、丙醇气体浓度增加呈乘幂函数衰减规律变化,检测浓度范围为0～1569.00mg.m-3,并对一定浓度范围实验数据进行归一化处理,能进一步提高测量准确度.

摘要：应用匀胶旋涂和退火处理的方法将纳米级sno2和具有规则阵列结构和多孔结构的硅微米/纳米结构复合体系硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)进行很好地复合,对复合材料的电阻酒敏特性进行了测试。结果表明,sno2/Si-NPA与Si-NPA相比对酒精具有更高的灵敏度和更好的长期稳定性sno2/Si-NPA良好的酒精敏感性能被归因于复合薄膜材料既保持了衬底材料独特的微纳双重结构,又保证了sno2能够发挥其在传感方面的作用,即高灵敏度来自于其巨大的比表面积对酒精分子的物理吸附和材料对酒精分子化学吸附。通过工艺条件的进一步改进以及气体标定系统和信号检出系统进行配套设计与优化,可望开发出性能优异的酒敏传感元件。