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检索条件"主题词=TiN膜"

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CSNS四极陶瓷真空盒磁控溅射镀tin膜研究: 收藏
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引用; 《原子能科学技术》2011年第1期45卷 90-93页; 作者：王梨兵董海义裴国玺杨奇中国科学院高能物理研究所北京100049; 介绍了中国散裂中子源(CSNS)快循环同步加速器(RCS)中四极陶瓷真空盒内表面镀tin膜技术与成膜系统装置。采用磁控溅射法,通过在绝缘体长直管道外表面安装金属屏幕罩来提供同轴电场的方法,解决了镀膜均匀性的问题。镀膜样品Ti、N比在0.9...; 介绍了中国散裂中子源(CSNS)快循环同步加速器(RCS)中四极陶瓷真空盒内表面镀tin膜技术与成膜系统装置。采用磁控溅射法,通过在绝缘体长直管道外表面安装金属屏幕罩来提供同轴电场的方法,解决了镀膜均匀性的问题。镀膜样品Ti、N比在0.9～1.1范围内,膜厚为100nm左右,附着力达到要求,总体满足设计指标,完成了CSNS四极陶瓷真空盒样机的镀膜。; 来源：详细信息评论

tin沉积技术在油泵配油盘上的应用研究: 收藏
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引用; 《润滑与密封》1993年第3期18卷 16-19页; 作者：赵建荆元昌中国核动力研究设计院中国矿业大学北京研究生部; 本文在对法国产SIRUS—400型采煤机主泵配油盘的磨损失效分析的基础上,合理选择配油盘基材和表面强化工艺,用实际的配油盘进行了有污染物的污染磨损台架试验。试验结果表明:在配油盘上沉积tin膜是可行的;高速钢W_(18)Cr_4V是一种理想的...; 本文在对法国产SIRUS—400型采煤机主泵配油盘的磨损失效分析的基础上,合理选择配油盘基材和表面强化工艺,用实际的配油盘进行了有污染物的污染磨损台架试验。试验结果表明:在配油盘上沉积tin膜是可行的;高速钢W_(18)Cr_4V是一种理想的沉积tin膜的基材。最后,就tin膜的沉积工艺提出了一些建议。; 来源：详细信息评论

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