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电阻阵列红外景物产生器微桥结构的研制及仿真
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《西安工业大学学报》2012年 第8期32卷 613-616页
作者：周顺 刘卫国 蔡长龙 刘欢 秦文罡西安工业大学光电工程学院西安710032 
为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与tiwn分别作为微桥结构的介电材料与电阻材料;利用表面工艺技术制作160×120阵列微桥结构;并对微桥结构进行了热学性能的仿真分析.研究结果表明...
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