摘要：把柔性机构的设计方法——伪刚体法应用于柔性微夹钳的设计中，得到一种新结构形式的电热微夹钳，用uv—liga方法进行加工制作，并进行动态性能测试．从对称的平面十杆刚性机构得到其伪刚体模型，对伪刚体模型进行优化并柔性化得到放大20倍的柔性微夹钳钳体，通过仿真验证了设计的正确性和可靠性．V形电热驱动器与柔性钳体集成到一起，形成柔性电热微夹钳．用SU-8胶做电铸铸模，钛和二氧化硅做牺牲层，铜做种子层，在氨基磺酸镍电铸液中进行电铸，加工出最小特征尺寸10μm，厚度30μm的电热镍微夹钳．最后对制作的微夹钳在0～1．5V直流电压下进行动态测试，夹持端位移最大可达24μm．

摘要：针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用uv-liga技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能。实验结果表明,用uv-liga工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性,在较大的变形范围内有很好的线弹性。

摘要：基于微纳米加工技术，设计一种可降解的植入式药物控释微载体，介绍利用紫外光刻（uv—liga）技术制备该类微载体的工艺。用聚羟基丙酸乙酸（PLGA）制作该微载体，分别对填充扑热息痛和扑尔敏两种药物的该类控释系统进行了实验研究，对比分析了在结构表面扎微孔和药物的溶解度对释药速率的影响情况，实验表明该类型微载体适用于植入式长期控释给药，而且累积给药量线性度较好。