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  • 1篇工学

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  • 1篇纳米工艺
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机构

  • 1篇三维及纳米集...
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 1篇陈岚
  • 1篇王晨
  • 1篇张卫华
  • 1篇周欢欢
  • 1篇尹明会

语言

  • 1篇中文
检索条件"主题词=WPE"
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LOD效应和wpe效应在纳米工艺PDK中的应用
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《微电子学与计算机》2019年 第2期36卷 1-5页
作者:周欢欢 陈岚 尹明会 王晨 张卫华中国科学院微电子研究所北京100029 三维及纳米集成电路设计自动化技术北京市重点实验室北京100029 
本文研究了自主开发的40nm工艺PDK中的LOD效应和wpe效应.LOD参数SA和wpe参数left影响CMOS器件特性,尤其饱和电流I_(dsat)和阈值电压VTH.随着SA减小,NMOS的I_(dsat)减小4.25%而VTH增大2.79%;PMOS的电参数与SA关系曲线与NMOS的一致,但比N...
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