摘要：采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底生长zno及zno∶Al薄膜,通过改变氩氧比、衬底温度和溅射功率获得样品。用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、扫描电子显微镜进行表征。结果发现:室温下40 W的溅射功率1 h的溅射时间,改变氩氧比获得样品。XRD图谱中无明显衍射峰出现;紫外可见光分光光度计测试结果显示400 nm波长以下,透光率在90%以上。说明薄膜生长呈无定形。衬底温度高于200℃样品,XRD有明显(002)衍射峰出现,在400～800 nm波长范围,透光率在88%以上,衬底温度300℃时,XRD衍射峰半高宽最小,晶粒尺寸大。TEM显示:衬底300℃晶粒尺寸最大,晶体发育好。在200℃掺铝zno薄膜,(002)峰不明显,有(101)峰出现。

摘要：中频溅射制备zno薄膜可改善射频磁控溅射方式中沉积速率过慢的缺点。对于多层薄膜的制备,对向靶的设计可使样品避开等离子体直接轰击,减少基底薄膜的损伤。本文采用这项技术制备厚度约为50nm的zno薄膜,通过调整工作压强、溅射功率、氧氩比等工艺条件,制备出均匀致密,结晶质量高,电阻率在102～103Ω.cm之间,可见光区透过率达到90%的zno薄膜。将其应用到C IGS太阳电池中发现,具有50nm厚度的zno层的C IGS太阳电池的性能较无zno层的太阳电池都有了很大提高。

摘要：从zno晶体结构入手,介绍了zno薄膜制备工艺的研究现状与进展,包括基片的选择,缓冲层的影响,薄膜极性的控制与制备技术。并指出基片的选择、薄膜的成核生长过程与界面问题仍是今后研究的重点。

摘要：基于zno薄膜吸收光谱的温变特性,设计了一种反射式光纤温度传感器。该传感器以镀于蓝宝石三棱镜面上的zno薄膜作为敏感材料,采用三棱镜、凸透镜和位于凸透镜焦点处的光纤端面相配合的结构以及相应的反射式光路。室温至500℃范围测试实验表明,所设计的传感器的温度曲线线性拟合度达99.3%以上,灵敏度优于0.05 nm/℃。该传感器的理论测温范围可达10 K^1000 K,稳定性高,适用于实际工作环境中的宽温变范围温度测量。

摘要：为了探索低温可调控zno薄膜沉积技术,提出了一种新的zno薄膜制备方法,即离化团簇束(ICB)法,并自行设计研制了应用该方法制备zno薄膜的专门装置.采用超音速喷嘴获得高速锌原子团簇束,用Hall等离子体源产生氧离子束离化锌原子团簇,获得了较高的离化率.在沉积过程中,可以通过调节衬底偏压、氩氧比、衬底加热温度等参数,来控制成膜的质量;应用这个装置成功地在硅衬底上制备的zno薄膜,经XRD和EDS检测,薄膜的c轴取向一致,Zn、O原子百分比接近于1∶1,成膜质量好.

摘要：为了能利用半导体材料zno对光谱曲线随温度变化而移动的原理设计一种光纤温度传感器,因此有必要对生长在光纤端面上的zno材料的温变特性的进行研究。基于zno材料的测温原理,利用电子束蒸发技术在蓝宝石光纤端面上生长zno薄膜,并设计了一种具有低插入损耗的光纤检测系统用于光学性能的分析。光谱测试结果显示,蒸镀在蓝宝石光纤端面上的zno薄膜具有陡峭的光学吸收边,随着温度的升高(室温～450℃),zno薄膜的禁带宽度减小,吸收边向长波长方向移动,符合半导体材料的温变特性。同时随着温度的升高,平均的透射率有一定的减小。zno薄膜温变特性的研究,将为进一步研制以zno镀膜为敏感材料的新型光纤温度传感器打下良好的基础。

摘要：为准确表征横观各向同性zno薄膜材料的压电性能,以沉积在硅基底上的zno薄膜为研究对象,结合有限元法和纳米压痕法确定了zno薄膜的压电系数。正向分析,用ABAQUS软件的压电模块模拟了纳米压痕实验,分别确定了薄膜压电系数与最大加载力、加载曲线指数之间的无量纲方程。反向分析,对zno薄膜/硅基底体系进行纳米压痕实验,将实验最大加载力和加载曲线指数代入无量纲方程,确定zno薄膜的压电系数为e15=-0.40C/m2,e31=-0.43C/m2和e33=1.20C/m2。本结论对zno薄膜的实际应用具有一定的指导意义。

摘要：采用溶胶-凝胶工艺在Si(111)衬底上制备了zno薄膜,考虑影响晶体质量的4个因素,应用正交实验法进行了工艺优化;利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论.结果表明,当陈化温度50℃、预处理温度200℃、退火温度650℃和Zn2+浓度0.35 mol/L时,zno薄膜的C轴择优取向度最高.

摘要：采用液相沉积法(LPD)在玻璃基底上制备了Zn_(5)(OH)_(8)(CH_(3)COO)_(2)·2H_(2)O薄膜,然后经高温焙烧获得zno薄膜。利用热重(TG)、X射线衍射(XRD)、比表面积(BET)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见漫反射光谱(UV-Vis DRS)等技术对所制备的zno薄膜结构进行了表征。以甲基橙(MO)降解反应为模型,研究了焙烧温度、焙烧时间、成膜时间、醋酸锌初始浓度及MO的初始浓度对zno薄膜光催化性能的影响。结果表明:LPD法制备的Zn_(5)(OH)_(8)(CH_(3)COO)_(2)·2H_(2)O薄膜呈"玫瑰花"状形貌,煅烧后zno薄膜中的玫瑰花"花瓣"是由六方纤锌矿结构的球形zno纳米颗粒致密排列组成。在最优条件下的光催化实验中,紫外灯照射3h后,MO降解率达到79.1%。循环利用5次后MO降解率基本不变。

摘要：本文介绍了zno薄膜的几种主要的制备方法,有脉冲激光沉积法、溶胶一凝胶法和磁控溅射法,再对所制薄膜的表征方法进行介绍,有X射线衍射分析、SEM分析、薄膜光学性质分析、四探针法、原子力显微镜。