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1.6 GHz薄膜体声波谐振器研究
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《武汉理工大学学报》2009年 第13期31卷 22-25页
作者：胡靖华 孙晓冬 张凯 张小玲 胡光 顾豪爽武汉理工大学理学院武汉430070 湖北大学铁电压电材料重点实验室武汉430062 
AlN材料具有良好的压电特性和很高的声波速度,是制作性能优良薄膜体声波器件的首选材料之一。对氮化铝薄膜体声波谐振器原理进行了分析,探讨了氮化铝薄膜体声波谐振器的设计方法,在制备高c-轴取向氮化铝薄膜的基础上,通过上电极和氮化...
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