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基于马赫-曾德尔干涉仪的1×8硅基热光开关: 收藏
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引用; 《光学学报》2024年第8期44卷 115-124页; 作者：高小勇刘阳阳胡光熹陆梁军罗海梅江西师范大学江西省光电子与通信重点实验室江西南昌330022 上海交通大学平湖智能光电研究院浙江平湖314200; 设计并制备了一种基于树形结构的1×8硅基热光开关,该热光开关由1个2×2和6个1×2马赫-曾德尔干涉仪的基本单元结构组成。该1×8硅基热光开关采用与互补金属氧化物半导体兼容的工艺制造。通过氮化钛加热器来改变波导的...; 设计并制备了一种基于树形结构的1×8硅基热光开关,该热光开关由1个2×2和6个1×2马赫-曾德尔干涉仪的基本单元结构组成。该1×8硅基热光开关采用与互补金属氧化物半导体兼容的工艺制造。通过氮化钛加热器来改变波导的温度,利用硅的热光效应实现光开关功能。实验结果表明:在1550 nm工作波长下,该热光开关的平均片上插入损耗约为1.1 dB;所有输出端口的串扰都小于-23.6 dB;开关响应时间小于60μs。; 来源：详细信息评论

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