摘要：本文提出了一种面向高密度集成的多通道Mach-Zehnder调制器的驱动器电路结构,单通道驱动器包含信号均衡器、时钟树模块、时钟延时控制模块和输出摆幅控制模块等电路,支持各通道25GHz高速差分时钟延时与驱动器输出摆幅的独立可调,以及最高25Gbps的NRZ数字信号传输.基于TowerJazz0.18μm SiGe BiCMOS工艺,完成了6通道驱动器的芯片设计.仿真结果表明,单通道带宽达到17.2GHz,最大差分输出摆幅为3Vppd,Jitter约为8.9ps,在2.3/3.6V双电源供电下单通道功耗约为646.9mW.

摘要：基于MEMS加工技术,提出了一种加热、传感电极和反应腔室可分离的PCR芯片结构,加热、传感电极采用Pt薄膜材料并可重复使用,反应腔室采用PDMS材料,芯片的制造成本大为降低。利用COMSOL软件对设计的PCR芯片进行了温度场仿真分析,并用红外热像测温仪(NEC R300)对微制造的芯片温度场分布进行了测量。测量结果表明芯片结构能得到较好的温度均匀性,为后续PCR芯片扩增实验提供了可靠的依据。

摘要：目前常见的流速传感器由于尺寸原因,只能介入管径较大的管道进行液体流速测量。设计并制造了一种可介入小管径管道的、具有温度补偿功能的圆柱基流速传感器,器件采用旋转投影曝光和微机电系统(MEMS)技术制作而成,包含一个薄膜型加热电阻和一个稳定补偿电阻,基于热阻原理可实现对不同温度流体流速的精确测量。测试结果表明:该流速传感器的温度系数为0.2236%/℃,灵敏度为4.25 mV/(cm·s^(-1))。研制的圆柱基MEMS流速传感器可在内径为2 mm的管道中对具有一定温度变化的流体进行流速测量,有望应用于工业、生物医学等领域。