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检索条件"机构=上海交通大学清源研究院"
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系统工程方法及其在先进半导体装备领域的应用
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《激光与光电子学进展》2022年 第9期59卷 427-437页
作者：殳峰 许智磊 何乐 杨晓峰复旦大学工程与应用技术研究院上海200433 上海交通大学清源研究院上海200240 上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201203 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433 
系统工程方法在国内外以航空航天、国防科技和船舶工程等为代表的复杂设备系统的研发中发挥了重要作用。针对以光刻机为代表的先进半导体装备的研发,发展和提升以正向设计引领、以系统工程方法为指导的自主创新和设计制造一体化能力显...
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