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BCD工艺概述
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半导体技术》2006年 第9期31卷 641-644,659页
作者:陈志勇 黄其煜 龚大卫上海交通大学微电子学院上海200030 上海先进半导体制造股份有限公司上海200233 
介绍了BCD(bipolarCMOSDMOS)的工艺原理、特点和发展前景。对BCD工艺兼容性进行了说明,着重阐述了LDMOS的工艺原理和关键工艺设计考虑。文章结合应用,指出BCD工艺朝着高压、高功率、高密度三个主要方向分化发展,并对BCD工艺的最新进展...
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1200 V IGBT的性能优化
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《电子与封装》2016年 第11期16卷 44-47页
作者:李宏上海先进半导体制造股份有限公司上海200233 
主要研究1200 V IGBT器件的性能优化方法。理论分析了IGBT结构参数与其主要性能的关系,按1200 V IGBT器件击穿电压和饱和压降的设计要求,重点讨论了FS、JFET注入、延长JFET退火时间和减小Pring注入剂量对IGBT器件击穿电压(BV)和饱和压降...
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双极型晶体管制造工艺SOD技术研究
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《集成电路应用》2018年 第6期35卷 36-40页
作者:任萍萍上海先进半导体制造股份有限公司上海200233 
有两种不同的双极晶体管NPN和PNP,NPN发射极emitter的工艺控制决定了晶体管的结深,在双极性晶体管制造工艺中是非常重要的,发射结的深浅和工艺质量决定了双极性晶体管的很多重要参数,如晶体管的放大能力,相关耐压的高低,漏电大小,是NPN...
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倒角机自动供液系统的改进方法研究
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《集成电路应用》2017年 第8期34卷 63-66页
作者:傅轶上海先进半导体制造股份有限公司上海200233 
以小型PLC控制器为主控制单元,配合启停按键,液位传感器,电磁阀,电动机等辅助元器件设计自动供液系统。该系统能够实现自动配置冷却清洗液,供应倒角机使用。改进后的系统节省配液时间、提高清洗质量,进而延长倒角机载台寿命,提高设备使...
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一种VDMOS阈值电压和导通电阻的优化方法
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《集成电路应用》2018年 第6期35卷 33-35页
作者:陈惠明上海先进半导体制造股份有限公司上海200233 
功率场效应晶体管应用广泛,其阈值电压和导通电阻是其重要的参数。针对不同栅氧厚度的产品设计不同的多晶硅厚度实验来寻找最佳工艺条件,最终找到了阈值电压产品和导通电阻的最佳多晶硅厚度条件。
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TR系列电源芯片测试开发
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《仪表技术》2013年 第8期 50-54页
作者:周时宜上海先进半导体制造股份有限公司上海200233 
随着集成电路产业的不断发展,性价比高的集成电路已是集成电路制造商所追求的目标。在集成电路日益普及的今天,新产品开发项目越来越多,同时对测试提出了越来越高的要求。文章所叙述的名为"烧断式三端稳压电源"芯片测试开发,...
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沟槽深度对UMOS功率器件电学性能的影响
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《复旦学报(自然科学版)》2009年 第4期48卷 506-510页
作者:张金英 华光平 纪新明 周嘉 黄宜平复旦大学专用集成电路和系统国家重点实验室微电子研究院上海200433 上海先进半导体制造股份有限公司上海200233 
采用0.35μm工艺设计制造了新型UMOS功率器件,芯片集成了数千个UMOS沟槽并使之并联,以获得高的击穿电压和大的工作电流.研究发现,沟槽深度对器件的工艺参数及其导通电阻、漏电流、阈值电压、击穿电压等电学性能都有影响,且最终影...
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