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AFM氮化硅纳米探针研制
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《传感技术学报》2006年 第1期19卷 42-45页
作者：吴辰凯 张波 吴宪平上海双岛信息科技有限公司上海201700 上海爱建纳米科技发展有限公司上海200237 复旦大学信息科学与工程学院微电子学系上海200433 
在〈100〉晶向硅片上通过各向异性腐蚀形成作为模板的倒金字塔形尖坑,用LPCVD和PECVD法淀积一层约1μm厚的氮化硅膜,通过等离子刻蚀形成悬臂梁图形,再把抛光玻璃片静电键合到氮化硅膜上,最后把衬底硅片腐蚀掉,带有金字塔形针尖的悬臂梁...
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