摘要：在一维稳态热传导模型的基础上,设计了一套用于测量聚合物薄膜纵向热导系数的实验装置,并利用Comsol软件对该测量装置进行数值模拟并优化设计。同时利用本文设计的实验装置,测量得到了不同温度下聚酰亚胺（PI）膜、聚四氟乙烯（PTFE）膜以及混合纤维素酯（MCE）膜的热导系数。在35℃-60℃的温度范围内热导系数测量值分别维持在0.21 W/（m.K）,0.26 W/（m.K）,0.13 W/（m.K）左右,标准不确定度在9.5%以下。测量结果与参考值相符,验证了实验装置的测试精度。

摘要：针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150μm(圆形)和150μm×150μm(方形),电极引线线宽为30μm。无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性。微电极加工质量较好,电学性能优良,实现了微电极和柔性基底的集成,有利于高效率批量制作,为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础。

摘要：采用聚对二甲苯(Parylene C)作为结构材料,借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性凸起微电极阵列.微电极直径为80μm,引线线宽40μm,电极间距为280μm,引线间距为80μm.电极位点高度约为10μm,呈明显的圆滑凸起结构特征.电极和引线表面均平整光滑,轮廓清晰,结构完好.阻抗测试结果表明:随着频率的增加,凸起微电极的阻抗呈下降趋势,显示出明显的高通特性;1 kHz时凸起微电极的阻抗约为10 kΩ,较具有相同基底面积的平面电极约低30%,有助于提高电极的信噪比,可望用于视网膜前假体中.柔性凸起微电极制作工艺简单,利于高效率批量制作并提高微电极的集成度.